以上制程的成熟芯片有望实现全流程国产化了月日工业和信息化部印发首台套重大技术装备推广应用指导目录年版的通知目录中的集成电路生产装备板块列出了氟化氪光刻机和氟化氩光刻机其中氟化氩光刻机的核心技术指标为光...